Gaz trifluorid azoti (NF3) me pastërti të lartë
Informacioni bazë
| CAS | 7783-54-2 |
| EC | 232-007-1 |
| UN | 2451 |
Çfarë është ky material?
Trifluoridi i azotit (NF3) është një gaz pa ngjyrë dhe pa erë në temperaturën e dhomës dhe presionin atmosferik. Mund të lëngëzohet nën presion të moderuar. NF3 është i qëndrueshëm në kushte normale dhe nuk dekompozohet lehtë. Megjithatë, ai mund të dekompozohet kur ekspozohet ndaj temperaturave të larta ose në prani të katalizatorëve të caktuar. NF3 ka një potencial të lartë të ngrohjes globale (GWP) kur lëshohet në atmosferë.
Ku ta përdorni këtë material?
Agjent pastrimi në industrinë elektronike: NF3 përdoret gjerësisht si një agjent pastrimi për heqjen e ndotësve të mbetur, të tilla si oksidet, nga sipërfaqet e gjysmëpërçuesve, panelet e ekranit plazma (PDP) dhe përbërës të tjerë elektronikë. Mund t'i pastrojë në mënyrë efektive këto sipërfaqe pa i dëmtuar ato.
Gazi gravurë në fabrikimin e gjysmëpërçuesve: NF3 përdoret si gaz gravurë në procesin e prodhimit të gjysmëpërçuesve. Është veçanërisht efektiv në gdhendjen e dioksidit të silikonit (SiO2) dhe nitridit të silikonit (Si3N4), të cilat janë materiale të zakonshme që përdoren në fabrikimin e qarqeve të integruara.
Prodhimi i komponimeve të fluorit me pastërti të lartë: NF3 është një burim i vlefshëm i fluorit për prodhimin e komponimeve të ndryshme që përmbajnë fluor. Përdoret si një pararendës në prodhimin e fluoropolimereve, fluorokarboneve dhe kimikateve speciale.
Gjenerimi i plazmës në prodhimin e ekraneve me panele të sheshta: NF3 përdoret së bashku me gazra të tjerë për të krijuar plazmë në prodhimin e ekraneve me panele të sheshta, të tilla si ekranet me kristal të lëngshëm (LCD) dhe PDP. Plazma është thelbësore në proceset e depozitimit dhe gdhendjes gjatë fabrikimit të panelit.
Vini re se aplikimet dhe rregulloret specifike për përdorimin e këtij materiali/produkti mund të ndryshojnë sipas vendit, industrisë dhe qëllimit. Ndiqni gjithmonë udhëzimet e sigurisë dhe konsultohuni me një ekspert përpara se të përdorni këtë material/produkt në çdo aplikim.
